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提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法
信息來(lái)源:本站 | 發(fā)布日期: 2018-10-08 14:27:02 | 瀏覽量:939300
提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法 本發(fā)明提出了一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法,通過(guò)調(diào)整碳杯中電力線的分布來(lái)提高加熱的均勻性.調(diào)整電力線分布,主要通過(guò)在中央增加輔助導(dǎo)電體從而在中央誘生額外的電力線,或者進(jìn)一步的在…
本發(fā)明提出了一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法,通過(guò)調(diào)整碳杯中電力線的分布來(lái)提高加熱的均勻性.調(diào)整電力線分布,主要通過(guò)在中央增加輔助導(dǎo)電體從而在中央誘生額外的電力線,或者進(jìn)一步的在導(dǎo)電片四周設(shè)置電力線阻擋環(huán)來(lái)減少四周的電力線,從而提高中央?yún)^(qū)域電力線的相對(duì)密度,在合成棒上下兩端的徑向中央?yún)^(qū)域附近形成一個(gè)電力線密集區(qū)(圖2、3的M’處),提高該點(diǎn)的發(fā)熱量,從而提高徑向中央?yún)^(qū)域的溫度,尤其是合成棒上下兩端的徑向中央?yún)^(qū)域的溫度。
【主權(quán)項(xiàng)】:
1.一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法,利用合成塊合成立方氮化硼單晶或金剛石,合成塊包括導(dǎo)電鋼圈(1)、葉臘石塊(2)、導(dǎo)電片(3)、碳杯(4)和位于碳杯(4)內(nèi)的合成棒(5),其特征在于:在導(dǎo)電鋼圈(1)的中央設(shè)置有輔助導(dǎo)電體(6),輔助導(dǎo)電體(6)在碳杯(4)中央誘生額外的電力線(7)。
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