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提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法
信息來(lái)源：本站 | 發(fā)布日期： 2018-10-08 14:27:02 | 瀏覽量：939300
提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法 本發(fā)明提出了一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法，通過(guò)調(diào)整碳杯中電力線的分布來(lái)提高加熱的均勻性.調(diào)整電力線分布，主要通過(guò)在中央增加輔助導(dǎo)電體從而在中央誘生額外的電力線，或者進(jìn)一步的在…
本發(fā)明提出了一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法，通過(guò)調(diào)整碳杯中電力線的分布來(lái)提高加熱的均勻性.調(diào)整電力線分布，主要通過(guò)在中央增加輔助導(dǎo)電體從而在中央誘生額外的電力線，或者進(jìn)一步的在導(dǎo)電片四周設(shè)置電力線阻擋環(huán)來(lái)減少四周的電力線，從而提高中央?yún)^(qū)域電力線的相對(duì)密度，在合成棒上下兩端的徑向中央?yún)^(qū)域附近形成一個(gè)電力線密集區(qū)（圖2、3的M’處），提高該點(diǎn)的發(fā)熱量，從而提高徑向中央?yún)^(qū)域的溫度，尤其是合成棒上下兩端的徑向中央?yún)^(qū)域的溫度。
【主權(quán)項(xiàng)】：
1.一種提高立方氮化硼單晶/聚晶合成棒內(nèi)部溫度均勻性的方法，利用合成塊合成立方氮化硼單晶或金剛石，合成塊包括導(dǎo)電鋼圈（1）、葉臘石塊（2）、導(dǎo)電片（3）、碳杯（4）和位于碳杯（4）內(nèi)的合成棒（5），其特征在于：在導(dǎo)電鋼圈（1）的中央設(shè)置有輔助導(dǎo)電體（6），輔助導(dǎo)電體（6）在碳杯（4）中央誘生額外的電力線（7）。
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